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一种用于点阵式无掩模光刻的曝光帧数据的产生方法 专利
专利类型: 发明, 专利号: 201210268327.8, 申请日期: 2014-10-15, 公开日期: 2014-10-15
发明人:  刘伟奇;  孟祥翔;  郭珍珍;  柳华;  康玉思;  魏忠伦;  冯睿
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低成本、批量化微棱镜模具的设计方法 专利
专利类型: 发明, 专利号: 201210137051.X, 申请日期: 2014-10-15, 公开日期: 2014-10-15
发明人:  吴一辉;  周文超;  张平;  刘永顺;  刘桂根;  李凯伟;  郝鹏
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一种非球面变焦距光刻物镜系统 专利
专利类型: 发明, 专利号: 201210279812.5, 申请日期: 2014-08-20, 公开日期: 2014-08-20
发明人:  刘伟奇;  吕博;  冯睿;  魏忠伦;  柳华;  康玉思;  姜珊
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一种高精度横向剪切干涉仪相移装置 (发明) 专利
专利类型: 发明专利, 申请日期: 2012-06-27, 公开日期: 2012-08-29
发明人:  何煦;  向阳
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全光纤激光器光纤光栅谐振腔的制备方法 (发明) 专利
专利类型: 发明专利, 申请日期: 2005-09-21, 公开日期: 2012-08-29
发明人:  张亮;  秦莉;  王立军
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