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Structure design of nanometer positioning stage with a large stroke 期刊论文
Guangxue Jingmi Gongcheng/Optics and Precision Engineering, 2016, 卷号: 24, 期号: 5
作者:  Chen, Q.
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菲索干涉仪移相器关键技术研究 学位论文
: 中国科学院大学, 2015
作者:  毛石磊
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菲索干涉仪  移相器  微位移  柔性铰链  压电陶瓷  
压电陶瓷系统迟滞非线性建模与控制的研究 学位论文
: 中国科学院大学, 2013
作者:  孙孔政
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压电陶瓷  迟滞特性  Duhem模型  逆补偿  Labview Fpga  
非接触式微扭矩测量装置 （发明） 专利
专利类型: 发明专利, 专利号: 1088838, 申请日期: 2002-08-07, 公开日期: 2002-08-07
发明人:  吴一辉;  贾宏光
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一种微位移工作台 （实用新型） 专利
专利类型: 实用新型, 专利号: 2379242, 申请日期: 2000-05-24, 公开日期: 2000-05-24
发明人:  何惠阳;  田兴志
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