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亚微米高精度曲率半径测量及其不确定度分析 期刊论文
光学学报, 2014, 期号: 5, 页码: 105-112
作者:  彭石军;  苗二龙
caj(314Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：270/80  |  提交时间：2015/04/17
测量  曲率半径  立式干涉仪  不确定度  交叉测量