Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
| 亚微米高精度曲率半径测量及其不确定度分析 | |
彭石军 ; 苗二龙
| |
| 2014-05-10 | |
| 发表期刊 | 光学学报
 |
| 期号 | 5页码:105-112 |
| 摘要 | 针对高精度光学系统的需求,利用立式Fizeau型干涉仪,结合双频激光测长干涉仪,实现了亚微米量级的高精度曲率半径的测量。为了验证该测量系统的可靠性,分别使用两个参考镜对一系列不同曲率半径的光学零件进行了检测。对产生测量误差的主要因素进行了详细分析,以SiC小球为例,结合不确定度理论,得到测量结果的不确定度约为0.13μm(假设是正态分布,置信水平约为95%),证明该测量系统满足亚微米测量精度要求。通过三坐标测量机对同一元件的交叉检测,验证了该系统测量结果的准确性。 |
| 文章类型 | 期刊 |
| 关键词 | 测量 曲率半径 立式干涉仪 不确定度 交叉测量 |
| 语种 | 中文 |
| 文献类型 | 期刊论文 |
| 条目标识符 | http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/42777 |
| 专题 | 中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 彭石军,苗二龙. 亚微米高精度曲率半径测量及其不确定度分析[J]. 光学学报,2014(5):105-112. |
| APA | 彭石军,&苗二龙.(2014).亚微米高精度曲率半径测量及其不确定度分析.光学学报(5),105-112. |
| MLA | 彭石军,et al."亚微米高精度曲率半径测量及其不确定度分析".光学学报 .5(2014):105-112. |
| 条目包含的文件 | 下载所有文件 | |||||
| 文件名称/大小 | 文献类型 | 版本类型 | 开放类型 | 使用许可 | ||
| 亚微米高精度曲率半径测量及其不确定度分析（314KB） | 开放获取 | ODC PDDL | 浏览 下载 | |||
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