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基于零相差轨迹控制方法提升快速反射镜性能 期刊论文
吉林大学学报(工学版), 2018, 期号: 03, 页码: 853-858
作者:  张士涛;  张葆;  李贤涛;  王正玺;  田大鹏
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自动控制技术  快速反射镜  零相差  前馈  视轴稳定  
Evaluation and analysis of the static pointing accuracy of the novel optical testing target 期刊论文
Yi Qi Yi Biao Xue Bao/Chinese Journal of Scientific Instrument, 2018, 卷号: 39, 期号: 4, 页码: 18-25
作者:  Zhang, Shaojun;  Gao, Yunguo;  Xue, Xiangyao;  Bi, Xun
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Errors  MATLAB  Optical testing  
Detection system of multilayer coating microstructure defects based on differential interference contrast confocal microscopy 期刊论文
Chinese Optics, 2018, 卷号: 11, 期号: 2, 页码: 255-264
作者:  Dai, Cen;  Gong, Yan;  Zhang, Hao;  Li, Dian-Meng;  Xue, Jin-Lai
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Multilayers  Coatings  Confocal microscopy  Defects  Diffraction  Extreme ultraviolet lithography  Microstructure