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Evaluation and analysis of the static pointing accuracy of the novel optical testing target 期刊论文
Yi Qi Yi Biao Xue Bao/Chinese Journal of Scientific Instrument, 2018, 卷号: 39, 期号: 4, 页码: 18-25
作者:  Zhang, Shaojun;  Gao, Yunguo;  Xue, Xiangyao;  Bi, Xun
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Errors  MATLAB  Optical testing  
Trajectory-fitting and testing error analysis of stage for curved grating etching 期刊论文
Guangxue Jingmi Gongcheng/Optics and Precision Engineering, 2018, 卷号: 26, 期号: 3, 页码: 588-596
作者:  Shen, Chen;  Tan, Xin;  Zhu, Ji-Wei;  Zhang, Wei;  Qi, Xiang-Dong
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Curve fitting  Diffraction gratings  Errors  Etching