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宽视场空间光学相机星上相对辐射定标系统 期刊论文
光电工程, 2014, 期号: 9, 页码: 1-5+11
作者:  任建伟;  李宪圣;  刘洪兴;  万志
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空间光学相机  辐射定标  星上定标  Led  
光刻机投影物镜热像差主动补偿方法研究 期刊论文
光学学报, 2014, 期号: 8, 页码: 139-142
作者:  陈华;  苏东奇;  隋永新;  章明朝;  田伟;  杨怀江;  张巍
caj(263Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：407/73  |  提交时间：2015/04/17
成像系统  热像差  主动补偿  光刻机  投影物镜