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一种用于点阵式无掩模光刻的曝光帧数据的产生方法 专利
专利类型: 发明, 专利号: 201210268327.8, 申请日期: 2014-10-15, 公开日期: 2014-10-15
发明人:  刘伟奇;  孟祥翔;  郭珍珍;  柳华;  康玉思;  魏忠伦;  冯睿
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哈特曼波前探测器与入射光束的孔径对准方法 专利
专利类型: 发明, 专利号: 201210264033.8, 申请日期: 2014-05-28, 公开日期: 2014-05-28
发明人:  宣 丽;  穆全全;  曹召良;  胡立发;  彭增辉;  李大禹;  刘永刚;  夏明亮;  姚丽双;  杨程亮;  鲁兴海
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具有孔径对准功能的哈特曼波前探测器 专利
专利类型: 发明, 专利号: 201210264084.0, 申请日期: 2014-03-12, 公开日期: 2014-03-12
发明人:  宣 丽;  穆全全;  曹召良;  胡立发;  彭增辉;  刘永刚;  姚丽双;  李大禹;  杨程亮;  夏明亮;  鲁兴海
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