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二维工作台正交性检测 期刊论文
长春工业大学学报(自然科学版), 2014, 期号: 6, 页码: 720-722
作者:  陈琦
caj(193Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：362/99  |  提交时间：2015/04/17
正交性  电容测微仪  多齿分度盘  平晶  
全息光栅曝光系统干涉条纹静态及动态相位锁定技术研究 学位论文
: 中国科学院大学, 2014
作者:  宋莹
Adobe PDF(5623Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：509/2  |  提交时间：2015/05/03
全息光栅曝光  扫描干涉场曝光  干涉条纹  移频式  静态相位锁定  动态相位锁定  Aom