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中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
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发表日期:2013
文献类型:专利
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双透镜有级变焦
专利
专利类型: 发明, 专利号: ZL201210090919.5, 申请日期: 2013-04-17, 公开日期: 2014-03-11
发明人:
李小虎,刘华,辛迪
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提交时间:2014/03/11
一种光刻机投影物镜镜片的支撑装置
专利
专利类型: 发明, 专利号: ZL201110212311.0, 申请日期: 2013-04-17, 公开日期: 2014-03-11
发明人:
倪明阳,巩岩,张巍,赵磊,王学亮,袁文全
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提交时间:2014/03/11