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高真空环境下实现液体样品池厚度微量可控装置及其控制方法 (发明) 专利
专利类型: 发明专利, 申请日期: 2012-05-02, 公开日期: 2012-08-29
发明人:  卢启鹏;  彭忠琦;  邰仁忠
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用于超高真空中实现转角精密传动的装置及其控制方法 (发明) 专利
专利类型: 发明专利, 申请日期: 2012-03-28, 公开日期: 2012-08-29
发明人:  彭忠琦;  卢启鹏;  金春水
Adobe PDF(403Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:440/62  |  提交时间:2012/08/29