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同步辐射掠出射X射线荧光分析薄膜膜厚 期刊论文
高能物理与核物理, 2005, 期号: 11, 页码: 82-84
作者:  巩岩;  陈波;  尼启良;  崔明启;  赵屹东;  吴忠华
caj(178Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:495/102  |  提交时间:2013/03/11
同步辐射光源  掠出射  X射线荧光  薄膜  
一种掠出射荧光在线测量光学多层膜厚度的装置 (发明) 专利
专利类型: 发明专利, 申请日期: 2005-07-20, 公开日期: 2012-08-29
发明人:  巩岩
Adobe PDF(283Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:335/30  |  提交时间:2012/08/29