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光学元件面形及波纹度误差实时修正装置 （实用新型） 专利
专利类型: 实用新型, 专利号: 2393682, 申请日期: 2000-08-30, 公开日期: 2000-08-30
发明人:  张学军
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一种测量位移量的光学细分干涉方法 （发明） 专利
专利类型: 发明专利, 专利号: 1048333, 申请日期: 2000-01-12, 公开日期: 2000-01-12
发明人:  廖江红;  卢振武
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