中国科学院长春光学精密机械与物理研究所(CIOMP OpenIR): 检索

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	Design of Spot Size and Optical Path in Scanning Beam Interference Lithography System 期刊论文 Zhongguo Jiguang/Chinese Journal of Lasers, 2017, 卷号: 44, 期号: 9 作者: Wang, W.; S. Jiang; Y. Song and Bayanheshig Adobe PDF(4373Kb) \| 收藏 \| 浏览/下载：287/92 \| 提交时间：2018/06/13
	Design and fabrication of broadband Mo/Si multilayer films for extreme ultra violet lithography illumination system 期刊论文 Zhongguo Jiguang/Chinese Journal of Lasers, 2016, 卷号: 43, 期号: 4 作者: Yu, B.; C. Li; C. Jin and C. Wang Adobe PDF(1342Kb) \| 收藏 \| 浏览/下载：330/66 \| 提交时间：2017/09/11

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