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中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
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出处:Zhongguo Jiguang/Chinese Journal of Lasers
发表日期:2017
专题:中科院长春光机所知识产出
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Interference Fringe Locking by Grating-Shifting Holographic Grating Exposure
期刊论文
Zhongguo Jiguang/Chinese Journal of Lasers, 2017, 卷号: 44, 期号: 5
作者:
Song, Y.
;
X. Zhao
;
Y. Jiang
;
Bayanheshig and X. Qi
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提交时间:2018/06/13
Profile online detection for two-dimensional stage x axis mirror in scanning exposure systems
期刊论文
Zhongguo Jiguang/Chinese Journal of Lasers, 2017, 卷号: 44, 期号: 1
作者:
Liu, Z.
;
W. Li
;
Bayanheshig
;
Y. Song
;
S. Jiang
;
X. Li and Q. Lu
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提交时间:2018/06/13