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Interference Fringe Locking by Grating-Shifting Holographic Grating Exposure 期刊论文
Zhongguo Jiguang/Chinese Journal of Lasers, 2017, 卷号: 44, 期号: 5
作者:  Song, Y.;  X. Zhao;  Y. Jiang;  Bayanheshig and X. Qi
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Profile online detection for two-dimensional stage x axis mirror in scanning exposure systems 期刊论文
Zhongguo Jiguang/Chinese Journal of Lasers, 2017, 卷号: 44, 期号: 1
作者:  Liu, Z.;  W. Li;  Bayanheshig;  Y. Song;  S. Jiang;  X. Li and Q. Lu
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