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Study of a 2 x 2 MOEMS optical switch with electrostatic actuating 期刊论文
Sensors and Actuators a-Physical, 2005, 卷号: 120, 期号: 1, 页码: 249-256
作者:  Sun D. M.;  Dong W.;  Wang G. D.;  Liu C. X.;  Yan X.;  Xu B. K.;  Chen W. Y.
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