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Reflective Static Fourier Spectrometer Optical System Based on Double Right-Angle Beam Splitter 期刊论文
Guangxue Xuebao/Acta Optica Sinica, 2017, 卷号: 37, 期号: 8
作者:  Li, W.;  Q. Lu;  Y. Song and X. Yu
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Beam Alignment Error and Its Control in Scanning Beam Interference Lithography System 期刊论文
Guangxue Xuebao/Acta Optica Sinica, 2017, 卷号: 37, 期号: 7
作者:  Wang, W.;  Bayanheshig;  M. Pan;  Y. Song and W. Li
Adobe PDF(993Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：283/87  |  提交时间：2018/06/13