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Beam Alignment Error and Its Control in Scanning Beam Interference Lithography System 期刊论文
Guangxue Xuebao/Acta Optica Sinica, 2017, 卷号: 37, 期号: 7
作者:  Wang, W.;  Bayanheshig;  M. Pan;  Y. Song and W. Li
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Design of Pendulum Staring Search Imaging Along the Track with High Resolution CMOS Camera 期刊论文
Guangxue Xuebao/Acta Optica Sinica, 2017, 卷号: 37, 期号: 7
作者:  Yang, X.;  L. Jiang;  S. Wang;  M. Wang;  G. Fan and Y. Wang
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