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Effects and improvements of coating induced polarization aberration on lithography lens design 期刊论文
Guangxue Xuebao/Acta Optica Sinica, 2015, 卷号: 35, 期号: 1
作者:  Shang, H.;  C. Liu;  W. Zhang and H. n. Chen
caj(1604Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：249/82  |  提交时间：2016/08/24
Preparation and characteristic of oxide capping-layer on extreme ultraviolet reflective mirrors 期刊论文
Guangxue Xuebao/Acta Optica Sinica, 2015, 卷号: 35, 期号: 3
作者:  Wang, X.;  C. Jin;  C. Li and S. Kuang
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