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Study on high precision Ritchey-Common test and analysis of test distance influence 期刊论文
Guangxue Xuebao/Acta Optica Sinica, 2014, 卷号: 34, 期号: 1
作者:  Zhu S.;  Zhang X.
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Study on metrology and alignment of 150 mm SiC convex hyperboloidal mirror 期刊论文
Guangxue Xuebao/Acta Optica Sinica, 2014, 卷号: 34
作者:  Chen X.;  Zhang B.
Adobe PDF(3200Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：203/65  |  提交时间：2015/04/24
Computer-aided alignment for the lithographic lens 期刊论文
Guangxue Xuebao/Acta Optica Sinica, 2014, 卷号: 34, 期号: 6
作者:  Zhao F.;  Tang J.;  Huang W.;  Xu W.
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Foundation and application of model for multilayers analysis in extreme ultra-violet lithography projection 期刊论文
Guangxue Xuebao/Acta Optica Sinica, 2014, 卷号: 34, 期号: 8
作者:  Wang J.;  Jin C.;  Wang L.;  Guo B.;  Yu B.
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Coordinate datum transition method for optical system computer-aided alignment 期刊论文
Guangxue Xuebao/Acta Optica Sinica, 2014, 卷号: 34, 期号: 3
作者:  Gu Z.;  Yan C.;  Hu C.;  Wang Y.;  Gao Z.;  Liu W.
caj(198Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：297/76  |  提交时间：2015/04/24
Procedure to improve alignment accuracy of collimator reticle 期刊论文
Guangxue Xuebao/Acta Optica Sinica, 2014, 卷号: 34, 期号: 9
作者:  He X.;  Wu G.
caj(455Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：187/50  |  提交时间：2015/04/24