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Deposition of AlN films on nitrided sapphire substrates by reactive DC magnetron sputtering 期刊论文
Faguang Xuebao/Chinese Journal of Luminescence, 2012, 卷号: 33, 期号: 2, 页码: 227-232
作者:  Wang X.-J.;  Song H.;  Li D.-B.;  Jiang H.;  Li Z.-M.;  Miao G.-Q.;  Sun X.-J.;  Chen Y.-R.;  Jia H.
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