中文版 | English

在结果中检索

CIOMP OpenIR

浏览/检索结果: 共3条，第1-3条 帮助

限定条件            
已选(0)清除 条数/页：   排序方式：
Optical coatings for projection objective immersion lithography 期刊论文
Chinese Optics, 2018, 卷号: 11, 期号: 5, 页码: 745-764
作者:  Bi, Dan-Dan;  Zhang, Li-Chao;  Shi, Guang
浏览  |  Adobe PDF(2727Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：300/119  |  提交时间：2019/09/17
Optical films  Integrated circuit manufacture  Irradiation  Lithography  Optical coatings  Optical systems  
Detection system of multilayer coating microstructure defects based on differential interference contrast confocal microscopy 期刊论文
Chinese Optics, 2018, 卷号: 11, 期号: 2, 页码: 255-264
作者:  Dai, Cen;  Gong, Yan;  Zhang, Hao;  Li, Dian-Meng;  Xue, Jin-Lai
浏览  |  Adobe PDF(2558Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：341/112  |  提交时间：2019/09/17
Multilayers  Coatings  Confocal microscopy  Defects  Diffraction  Extreme ultraviolet lithography  Microstructure  
Research on the interference technology of high repetition frequency CO2 laser 期刊论文
Chinese Optics, 2018, 卷号: 11, 期号: 6, 页码: 983-990
作者:  Chen, Jian;  Gao, Hui-Bin
浏览  |  Adobe PDF(331Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：315/102  |  提交时间：2019/09/17
Laser damage  Carbon dioxide  Carbon dioxide lasers  Damage detection  Thin films