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Active lens for thermal aberration compensation in lithography lens 期刊论文
Applied Optics, 2018, 卷号: 57, 期号: 29, 页码: 8654-8663
作者:  Zhao, L.;  Dong, L. J.;  Yu, X. F.;  Li, P. Z.;  Qiao, Y. F.
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adaptive optics  deformable mirror  performance  simulation  systems  design  Optics  
Low-order aberration correction of the TMT tertiary mirror prototype based on a warping harness 期刊论文
Applied Optics, 2018, 卷号: 57, 期号: 7, 页码: 1662-1670
作者:  Han, L. C.;  Liu, C. Z.;  Fan, C. B.;  Li, Z. W.;  Zhang, J. X.;  Yin, X. L.
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