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高精度间隙补偿式闭式气浮导轨性能的分析研究 期刊论文
长春光学精密机械学院学报, 1996, 期号: 04, 页码: 43-47
作者:  李志来
收藏  |  浏览/下载：252/0  |  提交时间：2013/03/11
气浮导轨  间隙补偿式