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双晶x射线衍射法测量超薄层外延材料厚度 期刊论文
半导体技术, 1999, 期号: 06, 页码: 45-46+58
作者:  曲轶;  高欣;  张宝顺;  薄报学;  张兴德
caj(56Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：382/65  |  提交时间：2013/03/11
双晶x射线衍射  超薄层厚度