Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
| 双晶x射线衍射法测量超薄层外延材料厚度 | |
| 曲轶; 高欣; 张宝顺; 薄报学; 张兴德 | |
| 1999-12-13 | |
| 发表期刊 | 半导体技术
 |
| 期号 | 06页码:45-46+58 |
| 关键词 | 双晶x射线衍射 超薄层厚度 |
| 文献类型 | 期刊论文 |
| 条目标识符 | http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/30873 |
| 专题 | 中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 曲轶,高欣,张宝顺,等. 双晶x射线衍射法测量超薄层外延材料厚度[J]. 半导体技术,1999(06):45-46+58. |
| APA | 曲轶,高欣,张宝顺,薄报学,&张兴德.(1999).双晶x射线衍射法测量超薄层外延材料厚度.半导体技术(06),45-46+58. |
| MLA | 曲轶,et al."双晶x射线衍射法测量超薄层外延材料厚度".半导体技术 .06(1999):45-46+58. |
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| 双晶x射线衍射法测量超薄层外延材料厚度.（56KB） | 开放获取 | -- | 浏览 下载 | |||
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