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大行程纳米级定位工作台的结构设计 期刊论文
光学精密工程, 2016, 期号: 5, 页码: 1065-1071
作者:  陈琦
caj(653Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：326/102  |  提交时间：2017/09/17
扫描干涉光刻系统  高精度工作台  气体静压导轨  摩擦驱动  纳米级定位