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全频段亚纳米精度氟化钙材料加工 期刊论文
光学精密工程, 2016, 期号: 11, 页码: 2636-2643
作者:  张春雷;  徐乐;  刘健;  马占龙;  王飞;  谷永强;  代雷;  彭石军
caj(596Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：401/125  |  提交时间：2017/09/17
氟化钙  投影光刻物镜  精密光学加工  亚纳米精度加工  离子束修形(Ibf)  
基于解析分区法设计闪耀全息凹面光栅 期刊论文
光学精密工程, 2013, 期号: 09, 页码: 2303-2308
作者:  谭鑫;  沈晨;  吴娜;  张方程;  巴音贺希格
caj(754Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：498/140  |  提交时间：2014/03/07
凹面光栅  闪耀光栅  分区法  衍射效率  离子束刻蚀