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6-PSS型光学元件精密轴向调节机构 期刊论文
光学精密工程, 2013, 期号: 10, 页码: 2648-2655
作者:  郭抗;  巩岩
caj(587Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：477/84  |  提交时间：2014/03/07
光刻物镜  光学元件  调节机构  并联机构  一体化结构  6-pss