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扫描干涉场曝光系统中周期设定对曝光刻线相位的影响 期刊论文
光学学报, 2014, 期号: 9, 页码: 55-62
作者:  姜珊;  巴音贺希格;  李文昊;  宋莹;  潘明忠
caj(447Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：358/104  |  提交时间：2015/04/17
光栅  扫描干涉场曝光系统  相位锁定  光栅周期  刻线误差  
刻线误差与面型误差对平面光栅光谱性能影响的二维快速傅里叶变换分析方法 期刊论文
光学学报, 2012, 期号: 11, 页码: 43-52
作者:  李晓天;  巴音贺希格;  齐向东;  于海利;  唐玉国
caj(2095Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：528/93  |  提交时间：2013/03/11
光栅  快速傅里叶变换  衍射波前  光栅指标  光栅刻线误差