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支撑应力对光刻透镜透射波前畸变的影响 期刊论文
中国光学, 2013, 期号: 01, 页码: 57-63
作者:  王平;  田伟;  王汝冬;  王立朋
caj(913Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：370/125  |  提交时间：2014/03/07
光学设计  光刻投影物镜  波前畸变  应力双折射  融石英  元件支撑  
标准镜的高精度柔性支撑镜框的优化设计 期刊论文
中国光学, 2011, 卷号: 4, 期号: 4, 页码: 380-387
作者:  王平;  田伟;  王汝冬;  王立朋;  隋永新;  杨怀江
Adobe PDF(570Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：439/83  |  提交时间：2012/05/11
大口径光学元件重力变形补偿的设计分析 期刊论文
中国光学, 2011, 卷号: 4, 期号: 3, 页码: 259-263
作者:  王汝冬;  王平;  田伟;  王立朋;  隋永新;  杨怀江
Adobe PDF(393Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：369/123  |  提交时间：2012/05/11