中国科学院长春光学精密机械与物理研究所(CIOMP OpenIR): 检索

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	Real time monitoring technology for full aperture grating diffraction wavefront with high frequency error 期刊论文 Optics Communications, 2019, 卷号: 452, 页码: 428-433 作者: C.Yang; H.L.Yu; X.T.Li 浏览 \| Adobe PDF(1619Kb) \| 收藏 \| 浏览/下载：130/47 \| 提交时间：2020/08/24 Optics
	Analysis and correction of the distortion error in a DMD based scanning lithography system 期刊论文 Optics Communications, 2019, 卷号: 434, 页码: 1-6 作者: Q.K.Li; Y.Xiao; H.Liu; H.L.Zhang; J.Xu; J.H.Li 浏览 \| Adobe PDF(1598Kb) \| 收藏 \| 浏览/下载：235/48 \| 提交时间：2020/08/24 Microlithography,Lithography,Digital image processing,maskless lithography,fabrication,Optics

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