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Error analysis and fabrication of low-stepped mirrors 期刊论文
Chinese Optics, 2019, 卷号: 12, 期号: 4, 页码: 791-803
作者:  M.Zhang;  J.-G.Lv;  J.-Q.Liang;  Z.-Z.Liang;  Y.-X.Qin;  W.-B.Wang
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Mirrors,Absorption spectroscopy,Approximation algorithms,Error analysis,Fabrication,Fourier transform infrared spectroscopy,Fourier transforms,Infrared spectrometers,Interferometry,Iterative methods,Least squares approximations,Polynomial approximation,Prisms,Spectrum analysis  
TFT5次光刻背沟道刻蚀型与保护型工艺 期刊论文
半导体技术, 2008, 期号: 12
作者:  辛玉洁;  于春崎
caj(445Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：562/74  |  提交时间：2012/09/25
薄膜晶体管  5次光刻  背沟道刻蚀型  背沟道保护型  A-si岛