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Impact of carbon contamination cleaning technologies on reflectivity of extreme ultraviolet lithography optics 期刊论文
Zhongguo Jiguang/Chinese Journal of Lasers, 2017, 卷号: 44, 期号: 3
作者:  Wang, Y.;  Q. Lu and Y. Gao
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Cleaning of carbon contamination on multilayer optics of EUVL 期刊论文
Guangxue Jingmi Gongcheng/Optics and Precision Engineering, 2017, 卷号: 25, 期号: 11
作者:  Song, Y.;  Q.-P. Lu;  X.-P. Gong;  Y. Wang and Z.-Q. Peng
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Preparation and characteristic of oxide capping-layer on extreme ultraviolet reflective mirrors 期刊论文
Guangxue Xuebao/Acta Optica Sinica, 2015, 卷号: 35, 期号: 3
作者:  Wang, X.;  C. Jin;  C. Li and S. Kuang
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