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Suppression mechanics of returning wave speckle with multibeams illumination 期刊论文
Guangxue Jingmi Gongcheng/Optics and Precision Engineering, 2017, 卷号: 25, 期号: 9
作者:  Wang, R. and R.-X. Shi
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深紫外光刻照明系统扩束单元设计 期刊论文
光学学报, 2011, 卷号: 31, 期号: 11, 页码: 1122004-1
作者:  赵阳;  巩岩;  张巍
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