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Optical design of high-numerical aperture lithographic lenses 期刊论文
Guangxue Jingmi Gongcheng/Optics and Precision Engineering, 2016, 卷号: 24, 期号: 4
作者:  Xu, M.-F.;  W.-B. Pang;  X.-R. Xu;  X.-H. Wang and W. Huang
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Effect of alignment errors of reticle on distortion in lithographic projection lens 期刊论文
Guangxue Jingmi Gongcheng/Optics and Precision Engineering, 2016, 卷号: 24, 期号: 3
作者:  Yang, W.;  W. Huang and H.-B. Shang
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