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中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
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作者
张立超 [1]
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期刊论文 [2]
发表日期
2020 [1]
2018 [1]
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出处
Chinese Op... [2]
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EI [2]
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收录类别:EI
出处:Chinese Optics
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Overview of 2D grating displacement measurement technology
期刊论文
Chinese Optics, 2020, 卷号: 13, 期号: 6, 页码: 1224-1238
作者:
Y.-F. Yin,Z.-W. Liu,J. Jirigalantu,H.-Z. Yu,W. Wang,X.-T. Li,H. Bao,W.-H. Li and Q. Hao
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提交时间:2021/07/06
Optical coatings for projection objective immersion lithography
期刊论文
Chinese Optics, 2018, 卷号: 11, 期号: 5, 页码: 745-764
作者:
Bi, Dan-Dan
;
Zhang, Li-Chao
;
Shi, Guang
Adobe PDF(2727Kb)
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提交时间:2019/09/17
Optical films
Integrated circuit manufacture
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Lithography
Optical coatings
Optical systems