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变包含角平面光栅单色器扫描转角精度的检测 期刊论文
光学精密工程, 2010, 卷号: 18, 期号: 7, 页码: 1548-1553
作者:  卢启鹏;  马磊;  彭忠琦
caj(512Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：367/58  |  提交时间：2012/09/25
小型高精度软X射线_极紫外反射率计 期刊论文
光学精密工程, 2008, 期号: 10
作者:  尼启良;  刘世界;  陈波
caj(231Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：454/75  |  提交时间：2012/09/25
极紫外单色仪波长定标 期刊论文
光学精密工程, 2008, 期号: 9
作者:  董宁宁
caj(264Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：331/61  |  提交时间：2012/09/25