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离轴抛物镜检测中调整误差对波前畸变的影响 期刊论文
光学 精密工程, 2011, 卷号: 19, 期号: 8, 页码: 1763-1770
作者:  李俊峰;  宋淑梅
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深紫外光刻照明系统光束整形单元的设计 期刊论文
光学 精密工程, 2011, 卷号: 19, 期号: 1, 页码: 29-34
作者:  巩岩
Adobe PDF(419Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：444/151  |  提交时间：2012/05/11