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扫描干涉场曝光系统中周期设定对曝光刻线相位的影响 期刊论文
光学学报, 2014, 期号: 9, 页码: 55-62
作者:  姜珊;  巴音贺希格;  李文昊;  宋莹;  潘明忠
caj(447Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：382/111  |  提交时间：2015/04/17
光栅  扫描干涉场曝光系统  相位锁定  光栅周期  刻线误差  
离轴反射式空间天文望远系统设计及其杂散光抑制研究 期刊论文
光学学报, 2014, 期号: 8, 页码: 234-240
作者:  朱杨;  张新;  伍雁雄;  曲贺盟;  张继真;  王灵杰
caj(509Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：455/142  |  提交时间：2015/04/17
光学设计  离轴三反系统  杂散光  点源透射率  散射模型