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光刻物镜波像差检测球面波发生装置的研制 期刊论文
仪器仪表学报, 2014, 期号: 7, 页码: 1518-1524
作者:  齐克奇;  向阳
caj(899Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：401/74  |  提交时间：2015/04/17
光刻物镜  波像差  剪切干涉  针孔  有限元方法