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红外共形整流罩热噪声分析与修正 期刊论文
光学学报, 2014, 期号: 10, 页码: 237-243
作者:  王超;  陈娟;  魏群;  贾宏光;  虞林瑶;  张天翼
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光学设计  共形光学  热辐射  光学头罩  红外噪声  曲面拟合  
光刻机投影物镜热像差主动补偿方法研究 期刊论文
光学学报, 2014, 期号: 8, 页码: 139-142
作者:  陈华;  苏东奇;  隋永新;  章明朝;  田伟;  杨怀江;  张巍
caj(263Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：411/73  |  提交时间：2015/04/17
成像系统  热像差  主动补偿  光刻机  投影物镜