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193nm光刻投影物镜单镜支撑仿真分析及实验研究 期刊论文
中国激光, 2012, 期号: 08, 页码: 227-232
作者:  田伟;  王平;  王汝冬;  王立朋;  隋永新
caj(724Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：523/144  |  提交时间：2013/03/11
应用光学  193nm光刻  运动学支撑  光学检测  有限元法