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极紫外多层膜光栅技术研究进展 期刊论文
光机电信息, 2011, 卷号: 28, 期号: 8
作者:  张立超
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多层膜沉积对光栅衬底槽形影响研究 期刊论文
光机电信息, 2011, 卷号: 28, 期号: 7, 页码: 16-20
作者:  张立超
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