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溅射法制备多层膜沉积速率的标定 期刊论文
光学精密工程, 2010, 卷号: 18, 期号: 12, 页码: 待定
作者:  张立超
caj(215Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：304/69  |  提交时间：2012/09/25
极紫外三维小孔矢量衍射波面质量分析 期刊论文
光学学报, 2010, 卷号: 30, 期号: 10, 页码: 2849-2854
作者:  金春水;  张立超;  王丽萍
caj(623Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：367/59  |  提交时间：2012/09/25