中文版 | English

在结果中检索

CIOMP OpenIR

浏览/检索结果: 共2条，第1-2条 帮助

限定条件            
已选(0)清除 条数/页：   排序方式：
Study on a wideband, variable aperture, high resolution scatterometer for planar diffraction grating stray light measurement 期刊论文
Applied Optics, 2017, 卷号: 56, 期号: 2
作者:  Yang, J.;  R. Zhang;  L. Yin;  C. Sun and T. J. Li
Adobe PDF(1770Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：284/86  |  提交时间：2018/06/13
Low-stress and high-reflectance Mo/Si multilayers for extreme ultraviolet lithography by magnetron sputtering deposition with bias assistance 期刊论文
Applied Optics, 2017, 卷号: 56, 期号: 26
作者:  Yu, B.;  C. S. Jin;  S. Yao;  C. Li;  Y. Liu;  F. Zhou;  B. Y. Guo;  H. Wang;  Y. Xie and L. P. Wang
Adobe PDF(1006Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：294/105  |  提交时间：2018/06/13