用于极紫外光刻非球面光学元件检测的复合三相位计算全息元件

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	用于极紫外光刻非球面光学元件检测的复合三相位计算全息元件
	张海涛; 谢常青
	2024
发表期刊	光学学报
卷号	44 期号:14 页码:127-133
摘要	提出一种同时出射3个波前的复合三相位计算全息图（CGH），并将其应用于波前误差校正。通过6次组合测量标定出CGH基底制造误差和图形位置误差，并在检测结果中予以消除。所测试的极紫外光刻（EUVL）非球面光学元件峰谷（PV）值和均方根（RMS）误差分别为31.6 nm和4.88 nm。此外，对同一非球面光学元件进行基于折射零位补偿的检测实验，其PV值和RMS误差分别为38.6 nm和5.14 nm。所提出的复合三相位CGH具有实现亚纳米量级的EUVL非球面光学元件面形检测潜力。
文献类型	期刊论文
条目标识符	http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/68715
专题	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
作者单位	1.中国科学院微电子研究所集成电路制造技术全国重点实验室 2.中国科学院大学集成电路学院 3.中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
推荐引用方式 GB/T 7714	张海涛,谢常青. 用于极紫外光刻非球面光学元件检测的复合三相位计算全息元件[J]. 光学学报,2024,44(14):127-133.
APA	张海涛,&谢常青.(2024).用于极紫外光刻非球面光学元件检测的复合三相位计算全息元件.光学学报,44(14),127-133.
MLA	张海涛,et al."用于极紫外光刻非球面光学元件检测的复合三相位计算全息元件".光学学报 44.14(2024):127-133.

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用于极紫外光刻非球面光学元件检测的复合三（1281KB）	期刊论文	出版稿	开放获取	CC BY-NC-SA	浏览下载