Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
| 基于像散面约束的镜片柔性支撑结构优化设计方法 | |
门树东 ; 申军立; 时英钟
| |
| 2024 | |
| 发表期刊 | 光子学报
 |
| 卷号 | 53期号:09页码:161-172 |
| 摘要 | 为提高高精度光机系统中光学元件支撑后的面形精度，在考虑冲击、振动、压力及温度等因素的影响下，设计了一种整体式多弹片定位的光学镜片支撑结构。在静力学条件下，通过有限元分析法计算整体结构的固有频率及支撑结构对镜片面形的影响，一阶固有频率达到366.13 Hz，镜片面形峰谷值为13.923 nm，均方根值为2.499 nm。基于像散面约束的条件，分析了支撑结构的变形对镜片面形的劣化程度，镜片面形峰谷值劣化至119.62 nm，均方根值劣化至20.69 nm。提出了一种镜片支撑结构的优化方法，构建高阶响应面近似模型以描述输入参数与响应值之间的函数关系，采用遗传算法寻优的优化方式提高镜片面形精度，镜片面形峰谷值改善率约18%，均方根值改善率约19%。实验检测对比优化结果，镜片面形峰谷值相对检测结果的偏差率约9%，均方根值相对检测结果的偏差率约12%，验证了优化设计可行性。研究结果可为高精度光机系统中光学元件支撑结构的设计及优化提供理论依据。 |
| 文献类型 | 期刊论文 |
| 条目标识符 | http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/68640 |
| 专题 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
| 作者单位 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
| 第一作者单位 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 门树东,申军立,时英钟. 基于像散面约束的镜片柔性支撑结构优化设计方法[J]. 光子学报,2024,53(09):161-172. |
| APA | 门树东,申军立,&时英钟.(2024).基于像散面约束的镜片柔性支撑结构优化设计方法.光子学报,53(09),161-172. |
| MLA | 门树东,et al."基于像散面约束的镜片柔性支撑结构优化设计方法".光子学报 53.09(2024):161-172. |
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| 文件名称/大小 | 文献类型 | 版本类型 | 开放类型 | 使用许可 | ||
| 基于像散面约束的镜片柔性支撑结构优化设计（2218KB） | 期刊论文 | 出版稿 | 开放获取 | CC BY-NC-SA | 浏览 下载 | |
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