Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
| 大面积狭缝式涂布工作台的设计与分析 | |
| 李烁 | |
| 2018 | |
| 发表期刊 | 制造业自动化
 |
| 期号 | 05页码:126-128 |
| 摘要 | 针对狭缝式涂布在大面积涂布领域的应用需求,设计了用于平板显示光阻涂布的精密工作台。利用有限元仿真软件ANSYS Workbench对工作台的龙门滑台组件进行了静力学分析,同时对工作台的运动部件进行了动力学模态分析,结果表明所设计工作台具备足够极高的静态刚度和动态响应能力,能够满足大面积狭缝式涂布要求。 |
| 关键词 | 狭缝式涂布 大面积 模态分析 |
| 文献类型 | 期刊论文 |
| 条目标识符 | http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/61268 |
| 专题 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 李烁. 大面积狭缝式涂布工作台的设计与分析[J]. 制造业自动化,2018(05):126-128. |
| APA | 李烁.(2018).大面积狭缝式涂布工作台的设计与分析.制造业自动化(05),126-128. |
| MLA | 李烁."大面积狭缝式涂布工作台的设计与分析".制造业自动化 .05(2018):126-128. |
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